联系我们

产品说明

  抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,抛光液具有十分杰出的去油污,防锈,清洗和长脸功能,并能使金属制造的产品显露出实在的金属光泽。稳定性很高、,对环境等长处。抛光外表反响物脱离硅单晶外表,即解吸进程使未反响的硅单晶从头出来的动力学进程。它是操控抛光速率的另一个重要进程。硅片的化学机械抛光进程是以化学反响为主的机械抛光进程,要取得质量好的抛光片,使抛光进程中的非物理性腐蚀效果与机械磨削效果到达一种平衡。假如非物理性腐蚀效果大于机械抛光效果,则抛光片外表发生腐蚀坑、桔皮状波纹。假如机械磨削效果大于非物理性腐蚀效果,则外表发生高损害层。近年来,国际上采用了一种新的工艺,即用Al2O3抛光液一次完结蓝宝石、碳化硅晶片的研磨和抛光,大幅度的提高抛光功率。不过,因为纳米α-氧化铝的硬度很高,因而抛光时易对工件外表导致十分严峻的损害;并且纳米氧化铝的外表能比较高,粒子易聚会,也会形成抛光工件的划痕、凹坑等外表缺点。近年来对氧化铝抛光液的研讨大多散布在在纳米磨料制备、氧化铝颗粒外表改性、氧化铝抛光液混合使用等方面。